馬爾文帕納科工業(yè)X射線衍射儀介紹：

X'Pert 平臺(tái)在馬爾文帕納科 X 射線衍射系統(tǒng)的新型 X'Pert3 系列中得以延用。 X'Pert3 平臺(tái)具有新型機(jī)載控制電子裝置，符合X 射線和運(yùn)動(dòng)安全規(guī)范，且具有環(huán)保和可靠性能，已準(zhǔn)備好迎接未來(lái)的挑戰(zhàn)。

X'Pert3 MRD 系列新增功能具體包括：

• 全新高分辨率測(cè)角儀，它使用 Heidenhain 編碼器，因而準(zhǔn)確性更高且定位反饋時(shí)間更短

•無(wú)需使用工具即可快速將光管位置從點(diǎn)焦斑更改為線焦斑

• 得益于氣動(dòng)快門和光束衰減器，系統(tǒng)正常運(yùn)行時(shí)間滿足過(guò)程控制要求

• CRISP*（包括無(wú)鉛光管塔）確保入射光路組件的壽命更長(zhǎng)

• 第二代 PreFIX，確保實(shí)現(xiàn)更準(zhǔn)確的光學(xué)器件定位

• 面向未來(lái)的單板計(jì)算機(jī)控制器，確保更好的連接性和更出色的遠(yuǎn)程支持

*CRISP 指的是耐腐蝕智能入射光路。CRISP 可防止入射光路中出現(xiàn)由 X 射線引起的電離空氣造成的腐蝕。該技術(shù)使儀器運(yùn)行更可靠，避免額外的維護(hù)工作。

馬爾文帕納科新一代 X'Pert3 MRD 高分辨X射線衍射儀其可靠性的增強(qiáng)及性能的改進(jìn)提高了分析能力，提供一體化解決方案來(lái)滿足不同需求和應(yīng)用：

• 半導(dǎo)體和單晶晶圓：倒易空間探索、搖擺曲線分析

• 多晶固體和薄膜：織構(gòu)分析、反射測(cè)量

• 超薄薄膜、納米材料和非晶層：掠入射物相鑒定、面內(nèi)衍射

• 非常溫條件下的測(cè)量：隨溫度和時(shí)間變化的峰高

馬爾文帕納科工業(yè)X射線衍射儀